衍射型长程大型非球面轮廓测量仪

被引：12

作者：

李直

赵洋

李达成

肖体乔

夏绍建

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械系精密测试技术及仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械系精密测试技术及仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械系精密测试技术及仪器国家重点实验室,上海同步辐射装置工程指挥部,上海同步辐射装置工程指挥部北京,北京,北京,上海,上海

来源：

光学学报 | 2002年 / 10期

关键词：

非球面; 大型光学元件; 轮廓测量; 长程面形仪;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH741 [光学计量仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

分析了基于衍射准直技术的f θ系统的特点 ,在此基础上提出了一种新型长程面形仪用以实现对大型非球面光学表面 ,特别是同步辐射中掠入射光学元件的高精度轮廓测量。成功地研制了样机 ,目前新型长程面形仪样机的纵向扫描范围可达 370mm ,分辨率优于 0 2 5 μrad ,单点稳定性小于 0 7μrad/ 2 0 0s ,全程测量精度可达1 14 μrad ,全长扫描的重复精度为 0 0 9μrad。样机测试结果表明 ,新型长程面形仪轮廓测量方案能够胜任对第三代及后继同步辐射光源中各种非球面光学元件的轮廓测量任务

引用

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