共 1 条
[1]
硅微机械加工技术.[M].黄庆安编著;.科学出版社.1996,
微机械热对流加速度计
被引：13
作者：
李立杰
梁春广
机构：
[1] 河北半导体研究所!石家庄,河北半导体研究所!石家庄
来源：
关键词：
热对流;
加速度计;
微机械;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH824.4 [];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
介绍了基于流体运动的加速度计的原理和制作 .它的原理是自然对流受到加速度信号而产生对流形变 ,从而产生温度差 ,由这个温度差感应了加速度、倾斜、位置变化 .这种加速度计由一个充有流体的密闭腔体组成 ,腔体中包含了一个加热元件和两个对称放置的温度敏感元件 .为了实现这种加速度计 ,采取了微机械制作方法中的前腐蚀工艺 ,把加速度计和伺服电路集成并封装在一起 ,测试了加速度效应 .
引用
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页码：465 / 468
页数：4
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