CCD玻璃管几何参数在线检测系统的研制

被引：1

作者：

王林，赵泽，王佳，李达成，曹芒

机构：

[1] 清华大学精仪系

来源：

红外与激光工程 | 1996年 / 02期

关键词：

电荷耦合器件，在线质量检测仪，半导体器件测试仪;

D O I：

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中图分类号：

TP274.5 [];

学科分类号：

摘要：

本文结合ＨＤＹ－ｌ型玻璃管参数在线检测系统的研制，介绍了检测的基本原理，并根据现场出现的干扰因素采取了相应的措施加以补偿，实现了玻璃管几何参数的在线高精度监测。

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共 1 条

[1] CCD应用技术[M]. 天津大学出版社 , 王庆有, 1993