新型原子力显微镜的研制及其应用

被引：57

作者：

张冬仙

章海军

李博

黄峰

机构：

[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室杭州,杭州,杭州,杭州

来源：

光子学报 | 2002年 / 01期

关键词：

原子力显微镜; 卧式; 扫描; 纳米技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

O488 [介观物理];

学科分类号：

070204 [等离子体物理];

摘要：

研制了一种新型卧式原子力显微镜 ( AFM)系统 .本文介绍卧式 AFM的工作原理及其简要结构 ,讨论反馈控制电路系统的优化设计 ,阐述 Windows/ Dos兼容的图象扫描、处理和显示软件 .基于原子力曲线的测定 ,利用 AFM对纳米金刚石薄膜和多孔氧化铝进行了扫描检测 .实验表明 ,该 AFM系统具有十分良好的图象重复性、稳定性和衬比 (度 ) ,仪器的横向分辨率优于 3 nm,纵向分辨率可达 1 nm,最大扫描范围达到 5μm× 5μm.这些性能为卧式AFM在更广泛的纳米技术领域的应用奠定了基础

引用

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