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硅微加速度传感器的现状及研究方向
被引：7
作者：
费龙，钟先信，温志渝，高扬
机构：
[1] 重庆大学光电精密机械研究所，国家教委教学仪器研究所
来源：
关键词：
传感器，加速度，硅微加工;
D O I：
10.13873/j.1000-97871995.05.001
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
综述了典型的硅微加速度传感器的原理、结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。
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