闭环控制的微动工作台设计

被引：3

作者：

张腊梅

黄其圣

余晓芬

机构：

[1] 合肥工业大学

来源：

关键词：

弹性导轨; 微动工作台; 闭环控制; 微位移;

D O I：

10.16567/j.cnki.1000-7008.2004.04.020

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

摘要：

介绍了一种以弹性导轨为支承的平面三自由度微动工作台的原理、结构、设计计算方法及闭环控制的基本原理。采用电致伸缩微位移器驱动弹性导轨 ,电涡流传感器测量工作台的微位移 ,能可靠地保证微动工作台的运动精度 ,并使其结构简单、紧凑。

引用

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