用于相位检测的电视图象处理技术

被引：2

作者：

周恕义

金国藩

邬敏贤

机构：

[1] 清华大学

来源：

关键词：

图象处理系统; 相位检测; 电视图象; 电视图像; 测量精度; 摄象机; 传感器; 干涉计量; 矩形框; 扫描法; 实时性;

D O I：

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中图分类号：

学科分类号：

摘要：

光学干涉计量与电视图象处理技术结合具有测量精度高和实时性好的优点。文章讨论了光学干涉计量的干涉图解析法和辅助位相扫描法,介绍了电视图象处理技术。最后给出了新近研制的用于表面槽深检测的系统实例。仪器测试精度优于2nm,测试时间(以10次采样计)小于1分钟。

引用

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