微加速度计在恶劣环境下的可靠性

被引：7

作者：

高健飞

熊继军

郭涛

石云波

机构：

[1] 中北大学,电子测试技术国家重点实验室

来源：

微计算机信息 | 2007年 / 35期

基金：

国家自然科学基金重点项目;

关键词：

可靠性; 加速度计; 失效模式; 残余应力;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

摘要：

微加速度计的可靠性问题是其能否迅速走向市场的关键。本文对压阻式悬臂梁加速度计在不同的环境下的失效模式进行了讨论,并给出了一些加速度计可靠性设计方面的建议,可以为其他科研工作者提供参考。

引用

页码：227 / 229

页数：3

共 4 条

[1] 变量化分析在传动滚筒的结构设计中的应用 [J].

霍雅琴 ;

骆德渊 ;

伍瑾斐 ;

李进松 .

微计算机信息, 2006, (06) :81-82+33

[2]

Reliability-based analysis and design optimization of electrostatically actuated MEMS[J] . Matthew Allen,Michael Raulli,Kurt Maute,Dan M. Frangopol.Computers and Structures . 2004 (13)

[3]

Materials issues in the processing, the operation and the reliability of MEMS[J] . A. Witvrouw,H.A.C. Tilmans,I. De Wolf.Microelectronic Engineering . 2004 (1)

[4] Reliability assessment of polysilicon MEMS structures under mechanical fatigue loading [J].

Soboyejo, ABO ;

Bhalerao, KD ;

Soboyejo, WO .

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, 2003, 38 (20) :4163-4167

← 1 →