非球面测量中零位计算全息的测量不确定度分析研究

被引:17
作者
王小鹏 [1 ,2 ]
高志山 [1 ]
马骏 [1 ]
沈华 [1 ]
马云 [1 ]
机构
[1] 南京理工大学电光学院
[2] 西安应用光学研究所
关键词
测量; 非球面; 波像差; 标准球面; 抛物面; 干涉测量;
D O I
暂无
中图分类号
TG80 [一般性问题];
学科分类号
0805 ;
摘要
非球面在光学系统中具有非常重要的作用。基于零位补偿计算全息(CGH)的干涉测量方法,因精度高、信息量大、调校方便,在光学计量和制造业领域受到广泛重视。以F数为4抛物面为测量样品,以光学计量领域比较成熟的平面、球面波象差,采用自准直方法,测出抛物面面形波象差;再用零位补偿CGH方法测量同一块样品,研究零位补偿CGH的误差传递数据。通过主要原理误差分析与计算,在光学熔融石英平面基底上制作零位补偿CGH,测量不确定度达到λ/10[峰谷值(PV),λ=0.6328μm],满足非球面波象差光学计量的要求。
引用
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