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机械密封实用技术[M]. 机械工业出版社 , 顾永泉著, 2001
光刻技术在流体动力密封研究中的应用
被引：8
作者：
宁建华
机构：
[1] 陕西动力机械设计研究所陕西西安
来源：
关键词：
光刻;
密封;
应用;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB42 [密封技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
主要介绍了流体动力密封螺旋槽动环光刻工艺的特点、原理、工艺过程、工艺流程、槽深控制方法以及应用情况,提出了采用高能束流刻蚀螺旋槽动环的新途径。结果表明,采用标准MEMS光刻工艺技术和化学铣切工艺技术,可加工出满足设计要求的螺旋槽动环。
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