未找到相关数据
软X射线多层膜反射镜的设计、制备与检测
被引：4
作者：
曹健林
机构：
来源：
关键词：
反射率计;
波段;
单色仪;
光源;
小角衍射;
射角;
辐射源;
多层膜反射镜;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文提出一种图像直观、结果可靠的软X线多层膜设计方法,讨论了与软X射线多层膜制备有关的基板选择,膜厚控制等工艺问题。给出Mo/Si软X射线多层膜小角度衍射及171λ、231λ及256λ处软X射线反射率的测试结果,并对软X射线多层膜工作做了展望。
引用
收藏
页码：33 / 40
页数：8
相关论文