基于双频激光干涉技术的高精度直线度基准装置

被引：11

作者：

赵辉

浦昭邦

刘国栋

机构：

[1] 上海交通大学电子信息学院仪器系!上海

[2] 哈尔滨工业大学自动化测试及控制系!哈尔滨

来源：

中国激光 | 2001年 / 07期

关键词：

直线度; 测量; 双频激光; 直尺; 反转;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN247 [光检测技术];

学科分类号：

摘要：

提出一种高精度直线度基准装置 ,它以激光波长作为测量基准 ,采用双频激光干涉技术和直尺反转误差分离技术 ,在一般实验室条件下实现了优于 0 1μm/m的测量不确定度。目前该装置已应用于航天质量保证体系国防校准实验室

引用

页码：637 / 640

页数：4

共 8 条

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