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用X射线干涉仪检定亚纳米级位移量
被引：1
作者：
D.K.Bowen
冯克猷
机构：
来源：
关键词：
纳米级;
单晶;
传感器;
晶形;
换能器;
电子技术;
测量仪器;
干涉仪;
晶体;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
<正> 一、前言"纳米技术"是一门应用新学科,牵涉到许多科学和工程领域。为微电子电路的生产,光学记录和检索机的制造,X 射线天文反射镜的制造和遗传工程中的 DNA 的直接控制等。它们的精度都在100nm 到亚纳米级范围内。有许多方法可以实现纳米级的位移灵敏度,如光学干涉条纹的分度,光学角度变位移的积分,差
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