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应用于纳米测量的X射线干涉测量技术
被引：3
作者：
房丰洲，董申，杨福兴
机构：
[1] 哈尔滨工业大学
来源：
关键词：
纳米测量;
纳米级测量;
较大优势;
衍射光栅;
光栅;
纳米技术;
干涉测量技术;
D O I：
10.19650/j.cnki.cjsi.1995.s1.006
中图分类号：
TH744.3 [];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
纳米级测量是纳米技术研究的关键。本文对纳米测量中具有较大优势的ｘ射线测量技术的方案发展、原理及实验装置的实现进行了深入研究，该技术具有很好的发展前景。
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