用于液相生物量检测的单片阵列QCM传感器

被引：7

作者：

石志松 ^{[1
]}

朱惠忠 ^{[2
]}

王文炎 ^{[1
]}

机构：

[1] 清华大学深圳研究生院

[2] 深圳清华大学研究院

来源：

仪器仪表学报 | 2006年 / S2期

关键词：

石英晶体微天平; 阵列式传感器; 生物传感器; 液相; 网络分析仪;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2006.s2.254

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

摘要：

设计并制作了一种单片集成的阵列式QCM(石英晶体微天平)传感器,介绍了设计思想和方法,用网络分析仪对实验器件进行了分析。阵列传感器设计成分时扫描激励的工作模式,通过选通电路对阵列各单元进行扫描激励,实现各单元的依次工作。避免了各谐振器单元之间可能的振动耦合,从而可以在单个石英晶片上集成尽可能多的器件。该阵列式QCM传感器加工工艺简单,频率一致性好,平均频率稳定度达到±0．2ppm／h。

引用

页码：1630 / 1632

页数：3