用于光纤阵列的Si-V型槽的制作

被引：6

作者：

雷莹

机构：

[1] 天津津航技术物理研究所天津

来源：

红外与激光工程 | 2002年 / 05期

关键词：

硅V型槽; 集成光学; 光纤耦合;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN253 [光纤元件];

学科分类号：

0702 ; 070207 ;

摘要：

集成光学器件已在许多领域得到了应用 ,对所有的光学器件 ,光纤与芯片之间的耦合都是一大难题 ,这是因为耦合的对准精度要求十分严格。常用的耦合方法之一是用精确腐蚀的Si V型槽作为集成光学器件尾纤耦合时光纤的固定夹具 ,V型槽的质量直接关系到耦合的成败。探讨了Si V型槽制作的理论、尺寸设计及工艺。

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页数：4

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共 2 条

[1]

固体光电子学.[M].傅竹西编著;.中国科学技术大学出版社.1999,

[2]

集成光学.[M].蔡伯荣等编著;.电子科技大学出版社.1990,