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微机械技术与微传感器发展——21 世纪航天传感器技术展望
被引：1
作者：
魏世钧
机构：
[1] 北京航天工业总公司七○四所
来源：
关键词：
航天工程,传感器,微电机械技术;
D O I：
10.13435/j.cnki.ttc.001162
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
论述了微机械技术对传感器发展的巨大推动作用及其在航天传感器上的应用前景，并介绍了微机械技术在传感器上近期应用研究的主要内容。
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