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微光斑尺寸测试技术
被引：3
作者：
陈垦
刘立明
沈冠群
黄宣劭
蔡康泽
俞三程
机构：
[1] 上海市激光技术研究所
来源：
关键词：
光斑尺寸;
压电陶瓷;
刀口;
激光光盘;
光盘;
光检测器;
检波器;
读数装置;
显微物镜;
光栅;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
光盘录刻系统的一个重要参数是系统的最小可能焦斑尺寸。本文描述一种测量亚微米级焦斑的方便而精确的测量技术。测试装置包括对焦及微调机构;刀口/光检测器扫描部分和光栅读数刀口定位部分。
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