Pd-Y合金膜的MOCVD研制

被引：7

作者：

夏长荣

郭晓霞

汪学军

陈初生

彭定坤

孟广耀

机构：

[1] 中国科技大学材料科学与工程系!合肥

来源：

高等学校化学学报 | 2000年 / 01期

关键词：

Pd-Y合金; β-二酮螯合物; 化学气相淀积; 金属陶瓷复合膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

O614.8 [第Ⅷ族金属元素及其化合物];

学科分类号：

070301 ; 081704 ;

摘要：

采用金属有机化合物的化学气相淀积法 ,以 β-二酮螯合物为源物质 ,在多孔 Al2 O3 衬底上成功制备了超薄钯钇合金膜 .用 Pd( Ac Ac) 2 +Y( Ac Ac) 3 混合源制备的钯钇合金膜的晶粒尺寸 ( 2 1nm× 10 nm )比单独用 Pd( Ac Ac) 2 制备的钯膜的尺寸 ( 3 0 nm× 10 nm )小 . XPS研究发现 ,制备的 Pd-Y合金膜中 Y/Pd比小于源物质的 .氢的透气性实验表明 ,合金膜的氢渗透率高于 Pd膜 ,且在 2 0 0～ 3 5 0℃范围内渗透率稳定 .

引用

页码：14 / 17

页数：4

共 9 条

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