复合氧化物SrTiOa-TiO2氧敏材料的研究￣①

被引：1

作者：

丁铁柱，李蓉萍，李秉厚，贾维国

机构：

来源：

关键词：

复合氧化物，SrTiOs－TiO2薄膜，氧敏;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN379 [敏感器件];

学科分类号：

摘要：

将具有氧敏特性的ＳｒＴｉＯ３与ＴｉＯ２复合化，采用电子束蒸发方法，制备了ＳｒＴｉＯｚ－ＴｉＯ２薄膜，研究了其氧敏特性。实验结果表明，复合氧化物ＳｒＴｉＯ３－ＴｉＯ２薄膜的ｎ－ｐ型转换点比ＳｒＴｉＯ３薄膜的ｎ－ｐ型转换点高，氧敏特性有所改善，从而提高了贫燃区氧灵敏度曲线的线性化。

引用

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