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检测圆光栅的光电定角比相法
被引：4
作者：
机构：
[1] 长春光机所十六室检测组
来源：
关键词：
圆光栅;
常角法;
比相法;
分度误差;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
一、引言圆光栅(或码盘)的分度误差是衡量其刻划水平的一项重要指标。光电定角比相法,就是检测圆光栅分度误差的一种动态检测方法。这种方法是我所于1970年年底试验成功并于1981年十月份通过所级鉴定的,专家们认为“在没有合适的光电检验仪的情况下,可用定角比相法动态检测圆光栅”。
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