MEMS传感器随机误差分析及处理

MEMS传感器的精度限制了其应用范围,为减小MEMS传感器随机误差的影响,提高其精度,对其随机误差进行分析和处理具有重要意义。首先采用Allan方差法分析了MEMS陀螺仪和加速度计的主要随机误差。然后基于Allan方差分析结果,发现从时频角度,采用小波变换分析传感器的随机误差,可以对零偏,有色噪声,白噪声进行了有效分离。最后通过对小波降噪方法的探讨,发现小波分析具有分离、减小随机误差的优势。