高分辨率光电尺寸检测系统研究

被引：1

作者：

张国玉

安志勇

曹维国

李成志

机构：

[1] 长春光学精密机械学院光电技术与工艺工程研究所!吉林省长春市，

[2] 长春光学精密机械学院光电技术与工艺工程研究所!吉林省长春市

来源：

关键词：

分辨率; 光电检测; 系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;

摘要：

论述了高分辨率光电尺寸检测系统的工作原理和系统总体结构，并给出了设计要点和提高系统分辨率的途径，本系统具有高速、高精度、非接触在线检测、测量结果直接数字显示和打印等特点。

引用

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