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TEM中微衍射和微分析的对应
被引：1
作者：
张人佶
汪裕萍
吴自勤
机构：
[1] 北京大学
[2] 中国科学技术大学
来源：
关键词：
微分析;
nm;
微区;
衍射图;
TEM;
中微;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
<正> 我们用TEM模式和STEM模式,在JEM—200CX扫描透射电镜+EDA×9100x射线能谱仪上,对Ge/Ag双层膜试样直径约200nm以下的同一微区进行微衍射和微分析。TEM模式的优点为:a.观察图象有较高的分辨率:b.可以方便地转到进行微衍射和微分析。实验时加速电压为200kV,试样倾斜30°,采用石墨样品台,自制Be网(图1为用电镜铜网(a)和自制Be网得到的x射线能谱图,前者铜峰太高)。插入φ100μ聚光镜光栏,得到TEM图象和选区衍射图,从图象中选择所需研究的区域进行同一微区的微衍射和微分析。将区域放在荧光屏的中心,调节光斑钮到4,用调节第二聚光镜
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