3D表面粗糙度的测量方法分析

被引：31

作者：

李成贵

董申

机构：

[1] 哈尔滨工业大学精密工程研究所

来源：

航空精密制造技术 | 1999年 / 02期

关键词：

表面粗糙度; 测量; 表面形貌; 三维形貌;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG84 [表面光洁度（表面粗糙度）的测量及其量仪];

学科分类号：

120111 [工业工程];

摘要：

近二十年内，精密和超精密加工技术对表面质量、性能的评价提出了越来越高的要求，并且希望在三维范围内“完整、全面”地表征表面的形成；而微纳米测量技术、光电子和计算机技术的发展，给三维表面微观形貌的分析奠定了坚实的基础，致使这方面的研究十分活跃．本文旨在对目前几种常见的三维表面测量方法的基本原理、特征及应用范围作一简单的介绍和分析．

引用

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