非晶硅集成型色敏元件及其传感器

被引：1

作者：

王长安，徐重阳，周雪梅，赵伯芳，邹雪城

机构：

[1] 华中理工大学

来源：

半导体光电 | 1996年 / 01期

关键词：

非晶硅，异质结，传感器，颜色识别;

D O I：

10.16818/j.issn1001-5868.1996.01.015

中图分类号：

TN303 [结构、器件];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

研究一种新型的非晶硅ＰＩＮ异质结集成型色敏元件及其传感器的制备工艺和结构，详细讨论了色敏元件的优化设计以及响应特性、暗电流等性能。实验结果表明，采用ａ－ＳｉＣ／ａ－ＳｉＰＩＮ异质结构和分离反应室的ＰＥＣＶＤ工艺，使色敏元件的灵敏度和暗电流特性得到了明显的改善。利用这种色敏元件及其传感器可以实现高精度的颜色识别。

引用

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