溶胶-凝胶法制备聚酰亚胺/二氧化钛感光杂化材料

被引:6
作者
刘丽
路庆华
印杰
不详
朱子康
王宗光
机构
[1] 上海交通大学化学化工学院
[2] 上海交通大学化学化工学院 上海
[3] 上海
关键词
杂化材料; 感光聚酰亚胺; 光刻; 二氧化钛; 溶胶-凝胶法;
D O I
暂无
中图分类号
TQ577 [感光材料产品、产品分析及鉴定];
学科分类号
0817 ;
摘要
Photosensitive polyimide/titania hybrid was prepared successfully by sol gel process. This hybrid material posseses a good photolithographic property under UV exposure. The introduction of titania leads to the increase in refractive index of the hybrid.
引用
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页码:1943 / 1944
页数:2
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