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新型微变位致动器的发展及应用
被引:7
作者
:
吴一辉,王立鼎,马建旭
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学院长春光学精密机械研究所
吴一辉,王立鼎,马建旭
机构
:
[1]
中国科学院长春光学精密机械研究所
来源
:
光学精密工程
|
1996年
/ 02期
关键词
:
致动器;发展;应用;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TH703.8 [];
学科分类号
:
摘要
:
对目前新出现的几种高精度微变位致动器的性能特点进行了分析,介绍了它们在高新技术领域,特别是在微纳技术领域中的应用。
引用
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