新型微变位致动器的发展及应用

被引:7
作者
吴一辉,王立鼎,马建旭
机构
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所
关键词
致动器;发展;应用;
D O I
暂无
中图分类号
TH703.8 [];
学科分类号
摘要
对目前新出现的几种高精度微变位致动器的性能特点进行了分析,介绍了它们在高新技术领域,特别是在微纳技术领域中的应用。
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