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新型微变位致动器的发展及应用
被引：7
作者：
吴一辉，王立鼎，马建旭
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所
来源：
关键词：
致动器；发展；应用;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH703.8 [];
学科分类号：
摘要：
对目前新出现的几种高精度微变位致动器的性能特点进行了分析，介绍了它们在高新技术领域，特别是在微纳技术领域中的应用。
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