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用射频偏压溅射制备的具有快速紫外光响应的ZnO薄膜
被引：6
作者：
张德恒
机构：
[1] 山东大学电子工程系
来源：
关键词：
光电导材料;
光响应;
光电导体;
ZnO;
偏压溅射;
氮掺杂;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN304.055 [];
学科分类号：
摘要：
用射频偏压溅射在较高氧压下沉积的六角密排结构的Ｃ轴平行于衬底的混合晶向结构的多晶ＺｎＯ薄膜，对紫外光的照射有较快的光响应．在此ＺｎＯ膜上再沉积层氮掺杂的ＺｎＯ膜，可使其光响应得以大大改善．
引用
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页码：779 / 782
页数：4
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