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SPM三维纳米级微定位的研究
被引：2
作者：
范细秋
卢志文
张鸿海
机构：
[1] 南阳理工学院!河南南阳
[2] 华中理工大学
来源：
关键词：
扫描探针显微镜（SPM）;
三维;
微定位;
纳米级;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH742 [显微镜];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
介绍了一种三维纳米级微定位系统．该系统可用于各种扫描探针显微镜（SPM）探针和样品的微定位，探针可在样品表面10mm×10mm区域内定位，重复定位精度小于100nm，在高度方向，探针可顺利地进入样品表面100nm区域内．
引用
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