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等离子清洗技术
被引：29
作者：
张国柱
杜海文
刘丽琴
机构：
[1] UNDP援建中国非ODS清洗设备制造中心
[2] UNDP援建中国非ODS清洗设备制造中心 太原
[3] 太原
来源：
关键词：
等离子清洗/刻蚀;
原理;
工艺;
D O I：
暂无
中图分类号：
TM505 [制造工艺、安装];
学科分类号：
080801 ;
摘要：
环境污染控制 ,人员劳动保护 ,技术应用 ,在高密度电子组装、精密机械制造中 ,湿法清洗工艺日渐局限 ,干法清洗的机理及应用研究日趋紧迫 ,等离子体清洗技术在干法清洗中优势明显。文章的主要内容是等离子体清洗的机理及低温等离子体技术清洗的工艺
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