纳米级定位精度一维位移工作台

介绍了一种具有纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗精两级定位机构,可以实现0～6mm范围、1nm理论分辨力的快速、高精度定位;固定在工作台上的全息衍射光栅实现了对工作台位移的高精度闭环检测。采用ANSYS有限元分析软件对精定位工作台进行了静态及动态特性分析;采用双频激光干涉测长仪对工作台的定位精度进行了对比测量。位移工作台已用于表面三维形貌测量中,给出了对标准样板的测试结果。