纳米器件的制备、表征及其应用

被引:2
作者
王太宏
赵继刚
傅英
李宏伟
李卫
王春花
王振霖
庞科
刘淑琴
符秀丽
机构
[1] 中国科学院物理研究所
关键词
纳米器件; 碳纳米管晶体管; 单电子晶体管; 纳米加工;
D O I
暂无
中图分类号
TB383 [特种结构材料];
学科分类号
070205 ; 080501 ; 1406 ;
摘要
利用建立的常规光刻法的纳米加工工艺系统 ,研制碳纳米管晶体管、单电子晶体管和单电子晶体集成的纳米器件 .研制出了 90K的单电子晶体管 ,实现了两单电子晶体管的电容耦合集成、多个单电子晶体管的串联集成以及单电子晶体管与传统器件的集成
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