TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析

被引：2

作者：

李留臣

杨润

机构：

[1] 西安理工大学

[2] 西安理工大学西安

[3] 西安

来源：

关键词：

单晶炉; 人工晶体; 硅单晶;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305 [半导体器件制造工艺及设备];

学科分类号：

1401 ;

摘要：

随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大家参考。

引用

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