IC加工及检测装备超精密工作台自标定技术研究

被引：4

作者：

朱煜

朱立伟

尹文生

段广洪

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

[2] 清华大学精密仪器与机械学系北京

[3] 北京

来源：

关键词：

超精密; 工作台; 自标定;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN305 [半导体器件制造工艺及设备];

学科分类号：

1401 ;

摘要：

在对超精密工作台自标定相关文献综述的基础上,基于刚体运动方程和非线性最优化方法,提出了一种超精密工作台自标定算法。仿真结果表明:该算法可以实现超精密工作台的标定,并且其最终标定精度与辅助测量装置精度无关,只受自标定过程中随机测量噪声的影响。

引用

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