可变入射角波长扫描RPA型椭偏仪的研制

被引:4
作者
冯星伟,苏毅,马宏舟,陈良尧,钱佑华
机构
[1] 复旦大学物理系半导体实验室
关键词
光谱学,椭圆偏振,反射率;
D O I
暂无
中图分类号
TH744 [物理光学仪器];
学科分类号
0803 ;
摘要
设计制作了一台用同步旋转起偏器和检偏器(转速之比为1:2)测量方式的波长扫描型椭偏仪。由于附加了一个固定偏振器以消除光源的部分偏振性,实验信号包括一个直流成分和四个交流成分,其频率分别为ω0,2ω0,3ω0和4ω0,利用四个交流成分中的任意三个便可以得到材料的复介电函数,实验结果的自洽度优于0.5%。并详细介绍了系统的设计、定标和校正过程,利用该椭偏仪对Au和CdTe样品复介电函数的测量结果与其它报道一致。
引用
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