神经网络在薄膜厚度控制系统中的应用

被引：6

作者：

曲双红

俞孟蕻

孟昕

机构：

[1] 华东船舶工业学院电子与信息系

[2] 华东船舶工业学院电子与信息系江苏镇江

[3] 江苏镇江

来源：

关键词：

神经网络; 非线性; 耦合; 薄膜厚度控制;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP183 [人工神经网络与计算]; TP273 [自动控制、自动控制系统];

学科分类号：

081104 ; 0812 ; 0835 ; 1405 ; 080201 ;

摘要：

讨论了薄膜厚度控制的非线性和耦合性,应用神经网络串行解耦算法,解决多变量非线性耦合问题,同时还采用了改进的学习算法———动量法,并与传统算法做了仿真比较。仿真结果表明该算法能较好地解决上述难点,从而更好的控制薄膜厚度的均匀性。

引用

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