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高精度全息干涉计量——相移技术的应用
被引：2
作者：
郑文
谭玉山
机构：
[1] 西安交通大学机械工程系,西安交通大学机械工程系西安,西安
来源：
关键词：
全息干涉计量;
相移;
相位图;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文介绍了一种精确的全息干涉相位测量系统。采用双曝光、双参考光束,并引入相移技术,能够同时获得全场256×256个点的相位变化值;相位测量的重复性优于2％,全场处理时间少于2分钟。
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页码：376 / 380
页数：5
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