用特征多项式构造相移干涉相位提取算式

被引：7

作者：

惠梅

牛憨笨

李庆祥

王东生

徐毓娴

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室,清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京,北京,北京,北京,北京

来源：

光学学报 | 2003年 / 07期

关键词：

光学测量; 特征多项式; 相移干涉术; 相位提取算式; 傅里叶分析;

D O I：

暂无

中图分类号：

O436.1 [干涉与衍射];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

用相移干涉术测量物体表面形貌时 ,各种误差因素特别是相移器移相误差的影响使得表面形貌的测量偏离了实际值 ,甚至会产生形貌失真的现象。采用傅里叶分析的方法对相位提取算式作了理论分析 ,并根据特征多项式设计分析理论构造了新的、对移相误差不敏感的相位提取算式。经实验验证 ,该算法有效地提高了相移干涉仪测量表面形貌的Ra 值 ,重复测量精度达 5倍以上 ,使测量结果更接近实际值

引用

页码：874 / 878

页数：5

共 14 条

[1]

Extendedaveragingtechniqueforderiv ationoferrorcompensatingalgor ithmsinphaseshiftinginterferometry. Sch mitJ,CreathK. Applied Optics . 1995

[2]

Extendedaveragingtechniqueforderiv ationoferrorcompensatingalgor ithmsinphaseshiftinginterferometry. Sch mitJ,CreathK. Applied Optics . 1995

[3]

Fiveframephaseshiftingalgorithminsensiti vetodiodelaserpowervariation. AfifiM,Na ssimK,RachafiS. Optics Communication . 2001

[4]

Phase-shifting algorithms for nonlinear and spatially nonuniform phase shifts.J. Opt . Soc. Hibino K. Am.( A) . 1997

[5]

General phase-stepping algorithm using Lissajous figures technique. Wei C,Chen M,Guo H et al. Proceedings of SPIE the International Society for Optical Engineering . 1998

[6]

Derivatives of displacement obtained by direct manipulation fo phase-shifted interferograms. Facchini M,Zanetta P. Applied Optics . 1995

[7]

Phase-step insensitive algorithms for phase-shifting interferometry. Farrell C T,Player M A. Measurement Science and Technology . 1994

[8]

Least-squares phase estimation from phase differences.J. Opt . Soc. Hiroaki Takajo,Tohru Takahashi. Am. ( A) . 1988

[9]

Algorithm immune to tilt phase-shifting error for phase-shifting interferometers. Chen Mingyi,Guo Hongwei,Wei Chunlong. Applied Optics . 2000

[10]

Interferogram analysis using an accurate fully automatic algorithm. Nugent K A. Applied Optics . 1985

← 1 2 →