薄膜型SnO2气敏元件初探

被引：23

作者：

沈瑜生

张云昌

机构：

[1] 中国科学技术大学

[2] 中国科学院合肥智能研究所

来源：

半导体学报 | 1984年 / 03期

关键词：

气敏效应; 液化石油气; 天然气; 电导峰; 敏感元件; 气敏元件; SnO2; 薄膜型; 初探;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

本文介绍用射频等离子体激活化学汽相淀积SnO2薄膜的方法,研究了SnO2薄膜气敏元件对液化石油气和氢气的气敏效应,并对元件的检测机理作了一些探讨.

引用

页码：301 / 306

页数：6

共 3 条

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[2]

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