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红外干涉仪调试和测量技术的研究
被引：3
作者：
黄深旺，陈磊，陈进榜，金国佑
机构：
[1] 南京理工大学电光分院
来源：
关键词：
红外干涉仪；移相干涉术;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744.3 [];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
从干涉计量术方面对自行研制的移相式ＣＯ２红外激光干涉仪进行了研究并提供了精确定位红外光路的调试技术，应用该干涉仪对红外光学元件及系统进行了测量；最后，对本干涉仪的系统误差作了测试和分析。结果表明，本仪器系统误差优于λ／２０（λ＝１０．６μｍ）．
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