溶胶-凝胶方法制备薄膜型TiO2氧敏传感器

被引：2

作者：

陈玉峰

李懋强

机构：

[1] 中国建材研究院

来源：

中国建材科技 | 1995年 / 03期

关键词：

氧化钛; 薄膜; 溶胶-凝胶; 氧敏传感器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

用溶胶-凝胶方法制备出了薄膜型TiO2氧敏传感器.研究了溶胶-凝胶过程中各工艺参数（溶胶浓度;水解程度;烧结温度等）对薄膜质量的影响,用TEM和SEM对薄膜的显微结构进行了观察,测定了薄膜型氧敏传感器的氧敏特性和响应时间,实验表明,随着温度的升高,传感器的响应时间缩短,且在同一温度下,从富氧态到缺氧态的响应时间比从缺氧态到富氧态的响应时间短.

引用

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