牵引用3300V IGBT芯片均匀性及其对可靠性的影响

被引:6
作者
刘国友 [1 ]
罗海辉 [1 ]
刘可安 [2 ]
黄建伟 [1 ]
张泉 [1 ]
机构
[1] 株洲南车时代电气股份有限公司功率半导体研发中心
[2] 株洲南车时代电气股份有限公司技术中心
关键词
高压IGBT; 轨道交通; 芯片工艺; 性能均匀性; 可靠性;
D O I
10.13890/j.issn.1000-128x.2013.02.001
中图分类号
TN322.8 [];
学科分类号
摘要
为满足轨道交通领域牵引用3300 V IGBT芯片应具有优良的栅极控制特性、较低的通态压降和较宽的安全工作区的要求,对3300 V IGBT芯片工艺进行了深入研究。在工艺控制和关键工艺改进方面采取措施,全面提升了牵引用3300 V IGBT芯片在栅极特性、电压阻断、导通特性和安全工作区等方面的表现,进而大幅度提高了芯片的可靠性。
引用
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