一种高分辨率和高频响的光栅纳米测量细分方法

被引：15

作者：

余文新

胡小唐

邹自强

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

[2] 北京光电量仪研究中心

来源：

天津大学学报 | 2002年 / 01期

关键词：

光栅; 纳米测量; 细分; 莫尔条纹; 高频响;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

提出了一种高分辨率、高频响的光栅纳米测量细分方法——动态跟踪细分法 .它综合了计算机正切细分法细分份数大、电阻链细分法工作速度快、频响亮的优点 ,电路原理清晰、结构简单 ,能够同时适用于动态和静态测量 ,较好地解决了光栅纳米测量的信号处理过程中的高速度与高分辨率、高准确度的矛盾 .实验表明 ,动态跟踪细分法能够在 40 0细分时实现10 0 k Hz以上的频率响应速度 ,配合信号周期 2μm的光栅传感器 ,可以得到 5 nm的测量分辨率 ,为光栅纳米测量技术应用于实时测量和实时控制打下了良好的基础 ,是一种非常有发展前途的新的莫尔条纹细分方法

引用

页码：1 / 4

页数：4