低温等离子体处理SF废气综述

被引：27

作者：

张晓星 ^{[1
,2
]}

肖焓艳 ^{[1
]}

黄杨珏 ^{[3
]}

机构：

[1] 输变电装备及系统安全与新技术国家重点实验室(重庆大学)

[2] 武汉大学电气工程学院

[3] 不详

来源：

电工技术学报 | 2016年 / 31卷 / 24期

关键词：

低温等离子体; SF6; 降解率; 无害化;

D O I：

10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.2016.24.002

中图分类号：

X701 [废气的处理与利用]; O539 [等离子体物理的应用];

学科分类号：

摘要：

低温等离子体废气处理技术正越来越引起人们的重视,它是未来环保产业的重要发展方向。由于强温室气体SF6本身的理化特性,等离子体处理SF6面临着更多的挑战,目前该方面的研究综述鲜见。本文尝试根据国内外已有的文献资料,阐述了等离子体处理SF6的反应机理和其三个评价指标,从射频、微波和介质阻挡放电三种主要的处理SF6的等离子体出发论述了降解过程各个因素对降解率、能量效率以及最终降解产物的影响。同时,提出了等离子体处理SF6需要进一步解决的问题和今后的研究方向,并对其工业化进行了可行性分析。

引用

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页数：9

共 25 条

[1]

Decomposition of Potent Greenhouse Gases SF6,CF4 and SF5CF3 by Dielectric Barrier Discharge[J]. 张仁熙,王婧婷,曹栩,侯惠奇.Plasma Science and Technology. 2016(04)

[2] 基于塔式扩散模型的火电厂污染物监测方法研究 [J].