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高分子薄膜等离子体表面改性的研究
被引：13
作者：
李瑛，茅素芬
机构：
[1] 西安交通大学化工学院高分子系
来源：
关键词：
等离子体，表面电阻，高分子薄膜;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484 [薄膜物理学];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
本文采用不同的等离子体改性ＰＩ、ＰＥＴ、ＰＰ薄膜，发现经处理的薄膜的表面电阻（Ｒ＿５）降低了２～４个数量级，材料的介电损耗（ｔｇδ）和介电常数（ε）也发生了变化。表面薄膜刻蚀深度随放电时间的延长而增加。红外分析证明在薄膜表面结构中引入了极性基团。
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