铝金属基板的制备及性能

被引:13
作者
穆道斌
金莹
马莒生
机构
[1] 北京科技大学材料科学与工程学院
[2] 松下研发有限公司(中国)先端移动通信实验室
[3] 清华大学材料系
基金
教育部留学回国人员科研启动基金;
关键词
金属材料; 铝基板; 氧化膜层; 封孔处理;
D O I
10.13373/j.cnki.cjrm.2003.03.005
中图分类号
TG174.4 [金属表面防护技术];
学科分类号
摘要
利用阳极氧化方法研制了应用于高密度封装中的铝金属基板。对其性能进行了测量。结果表明 ,在草酸电解液中获得的阳极氧化铝基板的膜层具有良好的电阻率 ,可达到 1× 10 1 4~ 1× 10 1 5Ω·cm数量级。其介电常数低于 10 ,随氧化膜层厚度增加而减小。对膜层进行的后续封孔处理提高了膜层的绝缘性能及耐蚀性。提高成膜温度有利于改善阳极氧化铝基板的耐热震性能
引用
收藏
页码:335 / 338
页数:4
相关论文
共 5 条
[1]   杂质及铈作用下铝锂合金的应力集中敏感性 [J].
孟亮 .
中国稀土学报, 2001, (02) :138-141
[2]   铝合金阳极氧化膜的封闭技术 [J].
刘文亮 ;
贝红斌 .
表面技术, 1998, (03) :32-34
[3]   多孔质铝阳极氧化膜的结构及其摩擦学性能研究 [J].
徐洮 ;
陈建敏 ;
赵家政 .
摩擦学学报, 1996, (02) :2-9
[4]   电子封装技术和封装材料 [J].
田民波,梁彤翔,何卫 .
半导体情报, 1995, (04) :42-61
[5]  
铝阳极氧化膜冷封孔机理研究——Ⅰ.冷封孔氧化膜的组成结构[J]. 李宜,朱祖芳,江志裕,严曼明.中国腐蚀与防护学报. 1992(04)