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铝金属基板的制备及性能
被引:13
作者
:
穆道斌
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机构:
北京科技大学材料科学与工程学院
穆道斌
金莹
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机构:
北京科技大学材料科学与工程学院
金莹
马莒生
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机构:
北京科技大学材料科学与工程学院
马莒生
机构
:
[1]
北京科技大学材料科学与工程学院
[2]
松下研发有限公司(中国)先端移动通信实验室
[3]
清华大学材料系
来源
:
稀有金属
|
2003年
/ 03期
基金
:
教育部留学回国人员科研启动基金;
关键词
:
金属材料;
铝基板;
氧化膜层;
封孔处理;
D O I
:
10.13373/j.cnki.cjrm.2003.03.005
中图分类号
:
TG174.4 [金属表面防护技术];
学科分类号
:
摘要
:
利用阳极氧化方法研制了应用于高密度封装中的铝金属基板。对其性能进行了测量。结果表明 ,在草酸电解液中获得的阳极氧化铝基板的膜层具有良好的电阻率 ,可达到 1× 10 1 4~ 1× 10 1 5Ω·cm数量级。其介电常数低于 10 ,随氧化膜层厚度增加而减小。对膜层进行的后续封孔处理提高了膜层的绝缘性能及耐蚀性。提高成膜温度有利于改善阳极氧化铝基板的耐热震性能
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