溅射法制备Ag超微粒的研究

<正> 实验室制备超微粒的物理方法一般采用热蒸发法。我们用溅射法进行了Ag超微粒的制备。经XRD分析,存在Ag和简立方Ag2O两种物相。为了研究此种方法制备的Ag超微粒在生成空间的分布状态以及Ag与Ag2O两相的共存形式,采取了在空间不同角度上直接取样进行TEM分析。通过衍衬象和选区电子衍射分析了微粒粒径、形态及结晶物相随收集角的不同而产生的变化规律。