激光清洗技术评述

激光清洗在工业中的应用有清除半导体和光学器件表面附着的微粒,铜表面的氧化物,金属和其它材料表面的放射性污染,集成电路封装孔的清理。雷达、飞机、高压输电塔架、桥梁和舰艇等的脱漆和除锈,以及清洗珍贵历史文物等。已经成功地应用于清洗钢铁、镁、铜、铝、石雕、漆器、皮革、纸制品、玻璃、陶瓷、聚酰亚胺薄膜和硅片等材料。使用的激光器类型有大功率连续波CO2激光器,便携式连续和脉冲CO2激光器,脉冲Nd:YAG激光器和准分子激光器等。