MEMS加速度计的六位置测试法

被引：44

作者：

宋丽君

秦永元

机构：

[1] 西北工业大学自动化学院

来源：

测控技术 | 2009年 / 28卷 / 07期

关键词：

MEMS加速度计; 六位置测试法; 刻度因数; 安装误差; 线性度;

D O I：

10.19708/j.ckjs.2009.07.004

中图分类号：

V241.5 [陀螺仪表];

学科分类号：

08 ; 0825 ;

摘要：

主要介绍了MEMS加速度计的六位置测试法,根据MEMS加速度计输出数学模型详细推导了如何得到MEMS加速度计的输出数学模型中的刻度因数、零偏以及安装误差,并在得到其标定系数后将其封装在C函数中进行了验证实验。通过实验数据分析可知,MEMS加速度计的六位置测试法原理简单、易于实现,且精度较高。这种标定法所得到的MEMS加速度计输出能够比较准确地反映其输出,而且MEMS加速度计的线性度有所改善。

引用

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页数：4

共 5 条

[1]

Periodic Error Compensation for Quartz MEMS Gyroscope Drift of INS[J]. Xu Jianmao a, Zhang Haipeng b,c,*, Sun Junzhong c a College of Energy and Power Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China b School of Instrument Science and Opto-electronics Engineering, Beijing University of Aeronautics and Astronautics, Beijing 100083, China c Mechanical and Electrical Equipment Research Institute, Qingdao Navy Submarine Academe, Qingdao 266071, China.Chinese Journal of

[2] 基于MEMS技术的安培酶免疫传感器研究 [J].